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              薄膜應變式邦納傳感器的應用特點

              2021-04-12 11:32

                     邦納傳感器薄膜應變傳感器的薄膜應變片及傳感器與擴散硅等傳感器相比,其制造工藝環節要少得多。它的主要制造工藝環節是成膜工藝(如濺射、蒸發等)。由于工藝環節較少,工藝周期較短,成品率也就較高。這是它目前獲得較廣使用的主要原因。薄膜應變片可以同彈性體鍵合在一起構成整體式薄膜傳感器,也可以制成單一的薄膜應變片,再粘貼在彈性體上構成傳感器。
               
                     傳感器的磁阻元件兩個極間構成一個電阻器,電流在兩個電極間流動時,載流子的運動路徑會因磁場作用而發生彎曲使電阻增大。在電流的橫向,電阻是無“頭”無“尾”的,因此霍爾電勢無法建立,較好地消除了霍爾電場的短路暴響。由于不存在霍爾電場,電阻會隨磁場有很大的變化。
               
                    邦納傳感器薄膜應變傳感器適用于航天、航空工業,以及對穩定性要求較高的測控系統中。薄膜應變片的阻值可做得很高,通常均可做到幾千到幾萬歐姆,因而其可在低功耗的狀態下工作。薄膜應變片及傳感器由于制造工藝的特點,使得其參數一致性遠較半導體型和擴散型的高,適于大量生產,成本低廉,耐疲勞性能良好,量程大。
               
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